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“我们都知道,高端芯片集成了百万晶体管,层层嵌套,图案极度复杂。
国外极紫外光刻采用的是类似投影式的原理,一次投影曝光就能刻出一层图案”
,景明站在台上,手上的粉笔写的飞快。
“所以只需要数次曝光就能够光刻出一枚高端芯片,这是他们远胜于我们的地方——能光刻复杂图案”
。
底下坐着的二十几名研究生纷纷叹气。
这是开组会的会议室,此刻被景明征用来上课以及分配任务。
“而我们所做的sp光刻机用的是近场直写,最大的问题就是没办法刻复杂图形。
以我们第一阶段的sp光刻机为例,目前为止我们仅仅能够用sp刻出一条直线”
。
下一刻,景明淡定地在黑板上画了个五角星,然后他在这个五角星上打了一个大大的叉。
“sp光刻机刻得了直线,但刻不出一个五角星”
,景明说着,在众人哀叹的眼光中扔下了粉笔,转过身。
“所以这就是我们二试要做的事情,刻出复杂图案”
。
全场寂静无声。
所有人都知道,用一根探针刻一条直线,到刻出一个五角星来,这难度,简直提升了百倍。
更别提他们要刻的不是五角星,而是复杂了百万倍的图案。
“不要灰心”
,景明还挺淡定的,“sp光刻有着比极紫外更卓越的优势,只要研制成功,我们就能随意刻制任何图形”
。
“此外,由于我们是直写光刻,所以我们不需要重重掩膜、曝光,也就不用研发光刻胶,这可以省下许多人手和经费”
。
“最后,我们的光源非常廉价,几十万块的汞灯所提供的能量就足够了,不像极紫外光刻机,由于功率要求太高,光源就要造价几千万”
。
景明笑道,“往大了里说,sp光刻机前途宽广,只要研发成功,足够打破目前国际半导体格局,足以让我们占据上游市场,赚到国外的钱”
。
“往小了里说,要是能研发出来,你们将来想文、找教职工作,肯定不愁了!”
台下众人顿时精神奕奕,无论如何,景明画出来的大饼还是很香的。
“好”
,景明点点头,“那接下来,我来说一下第二阶段的工作思路”
。
“我们目前的探针只有一根,无法光刻复杂图案。
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